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ALD-Anlage

Sector: Education • Location: Jena, Germany

Source: TED Europa

Tender
Contract Notice

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an

Status
Closed
Sector
Education, Telecommunications
Location
Jena, Germany
Updated
3 Nov 2026
Source
TED Europa

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Tender Information FAQ

Tender Information

3 Q
The tender “ALD-Anlage” is a tender record in Taiyo, linked to the Education sector. It is issued for works, goods, or services related to Jena, Germany.

Participants

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Status

Original status

contract notice

Taiyo status

Closed

Taiyo last update

2026-11-03

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Description

Description

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Original sector

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Location

Country

Germany

City

Jena

Source

Source

TED Europa

URL

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Record type

Tender

Sector

Education, Telecommunications

Article published date

2026-08-26

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