Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool
Sector: Education • Location: France
Source: TED Europa
Le CEA Leti, pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà (FDSOI10), souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure FEOL/MEOL pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable de traiter des wafers de 300mm et permettra la gravure hautement sélective et isotropique du silicium (Si) et silicium-germanium (SiGe). Il comprend les options à ré
- Status
- Closed
- Sector
- Education, Power Generation (CCGT)
- Location
- France
- Updated
- 3 Nov 2026
- Source
- TED Europa
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Status
Original status | contract notice |
Taiyo status | Closed |
Taiyo last update | 2026-11-03 |
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Description
Description | Le CEA Leti, pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà (FDSOI10), souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure FEOL/MEOL pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable de traiter des wafers de 300mm et permettra la gravure hautement sélective et isotropique du silicium (Si) et silicium-germanium (SiGe). Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Option 1 : Process 7 (gravure du spacer SiCO) - Option 2 :Process 8 (gravure du spacer et SADP) - Option 3 : Formation de maintenance Niveau 1 Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - Option 4 : Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 5 : Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 6 : Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 7 : Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) |
Original sector | Electrical machinery, apparatus, equipment and consumables; lighting |
Location
Country | France |
Source
Source | TED Europa |
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Record type | Tender |
Sector | Education, Power Generation (CCGT) |
Article published date | 2026-03-07 |
Research
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