Equipement de dépôt LPCVD
One of 10,000+ tenders Taiyo tracks in France.
Source: TED Europa
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
- Status
- Closed
- Sector
- Chemical (Industrial), Manufacturing (Industrial), Education
- Location
- Grenoble, France
- Updated
- 3 Nov 2026
- Source
- TED Europa
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Tender Information
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Status
Original status | contract award notice |
Taiyo status | Closed |
Taiyo last update | 2026-11-03 |
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Description
Description | Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore). |
Original sector | Electrical machinery, apparatus, equipment and consumables; lighting |
Budget |
Location
Country | France |
City | Grenoble |
Source
Source | TED Europa |
URL |
More Details
Record type | Tender |
Sector | Chemical (Industrial), Manufacturing (Industrial), Education |
Article published date | 2026-05-22 |
Research
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