FEOL ETCH CLUSTER
Sector: Power Generation (CCGT) • Location: Belgium
Source: TED Europa
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technol
- Status
- Closed
- Sector
- Power Generation (CCGT), Commercial
- Location
- Belgium
- Updated
- 3 Nov 2026
- Source
- TED Europa
ConstructChat
Ask ConstructChat about FEOL ETCH CLUSTER
Pick a question to edit it, or write your own.
First answer free · no account
Tender Information FAQ
Tender Information
Participants
| Not available for this record. |
Status
Original status | contract award notice |
Taiyo status | Closed |
Taiyo last update | 2026-11-03 |
Contact
| Not available for this record. |
Description
Description | 300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten. |
Original sector | Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) |
Location
Country | Belgium |
Source
Source | TED Europa |
URL |
More Details
Record type | Tender |
Sector | Power Generation (CCGT), Commercial |
Article published date | 2026-07-21 |
Research
Free account
View all details
You are reading the public part. A free account opens the rest:
- Every detail on this tender
- News and media coverage
- Technical research
Free account · no card · lands you back on this tender
More Power Generation (CCGT) tenders in Belgium
- RFP 2025-77357 Request for proposals for the supply, assembly and maintenance of photovoltaic installations and charging stations at the NATO Headquarters in Brussels, Belgium
- Nato Business Opportunity: Cots It Hardware And Associated Support – Server And Storage Equipment Indefinite Delivery, Indefinite Quantity (Idiq) Framework
- Nato Business Opportunity: Cots It Hardware And Associated Support – Server And Storage Equipment Indefinite Delivery, Indefinite Quantity (Idiq) Framework
- Blanket Purchase Agreement For Fuel And Electricity Provision For Usg Vehicles
- Kopie van Levering van elektriciteit en/of aardgas 2027-2028-2029
- Asbestinventaris
- Système de qualification - Pose de conduites gaz sur le territoire du GRD Resa UNIQUEMENT PUBLICATION
- Raamovereenkomst - Mazout-huisbrandolie