Fourniture d'un scanner de lithographie optique 248 nm
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Source: TED Europa
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un scanner de lithographie optique 248 nm. Cet équipement est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux métal, via et implant. Le marché envisagé comprend les options suivantes, qui sont levées à la notification du marché : . Option 1 : Possibilité d’uti
- Status
- Closed
- Sector
- Metal, Education
- Location
- Grenoble, France
- Updated
- 3 Nov 2026
- Source
- TED Europa
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Tender Information
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Status
Original status | contract award notice |
Taiyo status | Closed |
Taiyo last update | 2026-11-03 |
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Description
Description | Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un scanner de lithographie optique 248 nm. Cet équipement est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux métal, via et implant. Le marché envisagé comprend les options suivantes, qui sont levées à la notification du marché : . Option 1 : Possibilité d’utiliser au moins 6 éléments optiques diffractifs. . Option 2 : Capacité à traiter des plaques déformées avec un bow compris entre -500 µm et 350 µm. . Option 3 : Capacité à traiter des plaques d'épaisseur comprise entre 500 µm et 1 mm. . Option 4 : Capacité à manipuler les plaques transparentes. . Option 5 : Capacité à corriger finement la topographie des plaques. . Option 7 : Formation maintenance niveau 1. . Option 8 : Formation maintenance avancée. . Option 9 : Deuxième année de garantie telle que décrite au paragraphe 11 du cahier des charges, complétée par une troisième année de garantie. . Option 10 : Transport, assurance comprise, DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020). |
Original sector | Electrical machinery, apparatus, equipment and consumables; lighting |
Budget |
Location
Country | France |
City | Grenoble |
Source
Source | TED Europa |
URL |
More Details
Record type | Tender |
Sector | Metal, Education |
Article published date | 2025-12-03 |
Research
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