Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
Sector: Chemical (Industrial) • Location: Germany
Source: TED Europa
Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierend
- Status
- Closed
- Sector
- Chemical (Industrial), Education, Manufacturing (Industrial)
- Location
- Germany
- Updated
- 3 Nov 2026
- Source
- TED Europa
ConstructChat
Ask ConstructChat about Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
Pick a question to edit it, or write your own.
First answer free · no account
Tender Information FAQ
Tender Information
Participants
| Not available for this record. |
Status
Original status | contract notice |
Taiyo status | Closed |
Taiyo last update | 2026-11-03 |
Contact
| Not available for this record. |
Description
Description | Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2. |
Original sector | Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) |
Location
Country | Germany |
Source
Source | TED Europa |
URL |
More Details
Record type | Tender |
Sector | Chemical (Industrial), Education, Manufacturing (Industrial) |
Article published date | 2026-04-14 |
Research
Free account
View all details
You are reading the public part. A free account opens the rest:
- Every detail on this tender
- News and media coverage
- Technical research
Free account · no card · lands you back on this tender