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maskenloses UV-Direktlithographie-System

Sector: Education • Location: Germany

Source: TED Europa

Tender
Contract Award Notice

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender S

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Closed
Sector
Education
Location
Germany
Updated
3 Nov 2026
Source
TED Europa

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The tender “maskenloses UV-Direktlithographie-System” is a tender record in Taiyo, linked to the Education sector. It is issued for works, goods, or services related to Germany.

Participants

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Status

Original status

contract award notice

Taiyo status

Closed

Taiyo last update

2026-11-03

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Description

Description

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2

Original sector

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Budget

Location

Country

Germany

Source

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TED Europa

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Record type

Tender

Sector

Education

Article published date

2026-07-15

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