Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD
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Source: TED Europa
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD. L’équipement sera multi-chambres et devra inclure au moins 5 chambres de dépôt, une plateforme de transfert sous vide, une chambre d’oxydation dédiée, une chambre de pré-nettoyage et un module de dégazage. Le port
- Status
- Closed
- Sector
- Education
- Location
- Grenoble, France
- Updated
- 3 Nov 2026
- Source
- TED Europa
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Tender Information
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Status
Original status | contract notice |
Taiyo status | Closed |
Taiyo last update | 2026-11-03 |
Contact
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Description
Description | Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD. L’équipement sera multi-chambres et devra inclure au moins 5 chambres de dépôt, une plateforme de transfert sous vide, une chambre d’oxydation dédiée, une chambre de pré-nettoyage et un module de dégazage. Le port de chargement devra permettre d’accueillir au moins 3 FOUPs Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Option obligatoire : OPT1 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du cahier des charges) - Options facultatives : OPT2 : Échangeurs de chaleur / Refroidisseurs (§3.2.6 du cahier des charges) OPT3 : Transformateur d'alimentation électrique (§4.1.4 du cahier des charges) OPT4 : Formation de maintenance de 1er niveau (§9 du cahier des charges) OPT5 : Formation de maintenance de niveau avancé (§9 du cahier des charges) |
Original sector | Electrical machinery, apparatus, equipment and consumables; lighting |
Location
Country | France |
City | Grenoble |
Source
Source | TED Europa |
URL |
More Details
Record type | Tender |
Sector | Education |
Article published date | 2026-04-14 |
Research
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