Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
Sector: Education • Location: European Union
Source: TED Europa
Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE). Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern (z. B. InP, InGaP, AlGaAs). Ziel ist die Erweiterung und Weiterentwicklung bestehender Prozessketten im Bereich der
- Status
- Prospective
- Sector
- Education, Road
- Location
- Unknown (Europe)
- Updated
- 3 Nov 2026
- Source
- TED Europa
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Status
Original status | prior information notice |
Taiyo status | Prospective |
Taiyo last update | 2026-11-03 |
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Description
Description | Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE). Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern (z. B. InP, InGaP, AlGaAs). Ziel ist die Erweiterung und Weiterentwicklung bestehender Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung im Rahmen des Projekts APECS |
Original sector | Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) |
Budget |
Location
Country | Unknown (Europe) |
Source
Source | TED Europa |
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More Details
Record type | Tender |
Sector | Education, Road |
Article published date | 2026-06-11 |
Research
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